Bomba de baixa temperatura em cryopump de hélio líquido de injeção e ciclo fechado cryoumpump geladeira de hélio dois.
Bomba criogênica tipo injeção
Principalmente pelo recipiente de hélio líquido, o corpo da bomba e conectado com as partes da cavidade da placa deflectora de nitrogênio líquido. A fim de reduzir o consumo de hélio líquido, a parede externa do recipiente de hélio líquido com parede de isolamento duplo e vácuo, entretanto. Quando a bomba é bombeada para a pressão pré-PA em nitrogênio líquido e condensação de gás hélio no trabalho da placa fria em 4.2K. A pressão parcial do hidrogênio de hélio para o número de PA é pré - bombeada, de modo que a bomba possa obter a pressão final abaixo de. Se a descompressão de vácuo de contêiner de hélio líquido para 6650 kPa, a temperatura de hélio líquido pode ser reduzida para 2,3 K, pode obter a pressão limite inferior.
Bomba criogênica para geladeira de hélio a gás de ciclo fechado
Foi um novo tipo de bomba criogênica que apareceu nos anos 70. Esta bomba não consome hélio, é fácil de operar e fácil de manter e é amplamente utilizada. O meio de refrigeração do refrigerador é o gás hélio, a primeira classe da temperatura da placa fria é 50 ~ 100K, a aplicação típica é 65K, que é usado para condensar o vapor de água e o outro gás, e a temperatura da placa fria de dois estágios 10 ~ 20K, que é usado para condensar o nitrogênio, oxigênio e gás argônio. A superfície interna da placa fria de dois estágios é revestida com carvão ativado. O carvão ativado tem forte capacidade de adsorção de hélio, néon e hidrogênio a baixa temperatura. A placa fria é feita de cobre livre de oxigênio, e a superfície é polida ao grau da superfície do espelho, de modo a reduzir o coeficiente de radiação. A pressão limite da bomba é PA, a faixa de pressão de trabalho é PPA e a pressão pré-bombeamento é de 1 PPA. A taxa de produção do produto atingiu 60000 litros por segundo. Além disso, de acordo com as características do processo, a placa de arrefecimento do ar de escape pode ser disposta no recipiente bombeado e a taxa de bombagem pode atingir 106 litros por segundo.
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