Um criopump é uma bomba de vácuo que usa uma superfície de baixa temperatura para condensar gás, também conhecido como bomba de condensado. O criopump pode obter um vácuo limpo com a maior taxa de bombeamento e a menor pressão final, e é amplamente utilizado na pesquisa e produção de semicondutores e circuitos integrados, bem como pesquisa de feixe molecular, equipamento de revestimento a vácuo, instrumentos de análise de superfície de vácuo, implantadores de íons e simulação espacial. dispositivos, etc.
Princípio de bombeamento O criopump é equipado com uma placa fria resfriada a uma temperatura muito baixa por hélio líquido ou uma geladeira. Ele condensa o gás e mantém a pressão de vapor do condensado abaixo da pressão final da bomba, de modo a alcançar o efeito de bombeamento. As principais funções do bombeamento de baixa temperatura são condensação de baixa temperatura, adsorção de baixa temperatura e baixa captura de temperatura.
criopump
(1) Condensação de baixa temperatura: moléculas de gás se condensam na superfície da placa fria ou na camada de gás condensado, e a pressão de equilíbrio é basicamente igual à pressão de vapor do condensado. Ao bombear hidrogênio, a temperatura da placa fria é mais baixa.
(2)Adsorção de baixa temperatura: As moléculas de gás são adsorvidas na superfície do adsorbent revestido na placa fria com uma espessura de uma camada molecular. A pressão de equilíbrio para adsorção é muito menor do que a pressão de vapor na mesma temperatura.
(3)Armadilha criogênica: Moléculas de gás que não podem ser condensadas à temperatura de extração são enterradas e adsorvidas pela crescente camada de gás condensado.